日本TEM-TECH壓力傳感器半導體制造設備用HYPFZW-010TS1

日本TEM-TECH壓力傳感器半導體制造設備用HYPFZW-010TS1

HYPFZW

集成型氣體面板用壓力傳感器

高精度·對環境變化具有高度穩定性

接觸氣體部為面向全SUS316L氣體面板壓力傳感器1g壓力:-0.1或

0~0.3.0.5.1MPa電流/電壓輸出，各種集成尺寸的C硅、W硅接觸

部:SUS316L

用于半導體制造裝置氣體面板

產品介紹：

測定流體

半導體工藝氣體

接氣部材質

光圈:SUS316L(VIM+VAR)傳感器單元:SUS316L

測定範囲

0 (-0.1)-0.3、0.5、1MPa

許容限度壓力

定格壓力x2倍

電源電壓

DC24V±10%

直流15~24V

出力信號

4~20mADC(2裸式)

0~5VDC、1~5VDC、0~10VDC(3線式)

輪合精度

~0.5%FS(直線性、歇斯底里包括可再現性)

溫度補償範囲

0~溫度:不結冰、不結露

動作溫度範囲

0~80度(無結冰、無結露)

溫度特性

+/-0.05%FS/度C(溫度補償范圍內)

保護等級

IP55相當*室內規格

安裝螺釘

C硅、W硅

螺釘尺寸

1.125"1.5(請咨詢其他)

電纜取出

可裝卸式多治見連接器

附帶電纜

3m標準(2芯+屏蔽線)

3m標準(3芯+屏蔽線)

密封方法

特殊電子束焊接

泄漏量

<5x10 12P/秒

內面精細度

Ra:<0.25μm以下

Model: HYPFZW

HYPFZW-420TS2

HYPFZW-420TS1

HYPFZW-420TS3

HYPFZW-420PS1

HYPFZW-420PS2

HYPFZW-420PS3

HYPFZW-420MS1

HYPFZW-420MS2

HYPFZW-420MS3

HYPFZW-105TS2

HYPFZW-105TS1