力式真空計:基于力平衡原理測量真空度。
麥式真空計:基于壓縮作用原理,將被測真空系統中的氣體進行壓縮,通過測量壓縮后的壓力來計算原始真空度。
熱導式真空計:基于氣體熱傳導原理,包括電阻式真空計和熱電偶式真空計,通過測量氣體分子熱傳導導致的溫度或電阻變化來間接測量壓力。
電離式真空計:基于電離作用原理,分為熱陰極式真空計和冷陰極式真空計,通過測量氣體分子電離產生的離子流來確定真空度。
絕對真空計:能從其本身測得的物理量,如液柱高度、工作液比重等,直接計算出氣體壓力,測量精度較高,主要用作基準量具,如 U 形管真空計、壓縮式真空計等。
相對真空計:主要利用氣體在低壓力下的某些物理特性,如熱傳導、電離、粘滯性和應變等與壓力的關系間接測量,測量精度較低,且測量結果與被測氣體種類和成分有關,使用前需用絕對真空計標定和校準,實際應用中占絕大多數,如電阻真空計、冷熱陰極電離真空計等。
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按測量原理分類