測量平整度的方法主要有三種：

1. 使用千分表進行測量

使用千分表測量平整度是一種相對容易應用于測量各種零件的方法。首先，千分表并不是測量平面度的專用測量儀器，而是直接接觸一個方向的距離，比如臺階，來讀取移動量的通用測量儀器。

將千分表和要測量平面度的部件放置在平臺等參考平面上，然后測量多個點的高度。雖然測量相對容易，但如果參考板不平整或被測產品傾斜，評估結果就會受到影響。

評估盡可能多的領域非常重要，并記住結果將根據給出的分數而有所不同。

2. 使用標準平整度儀進行測量

平整度標準是一個有保證平整度的原型。該方法通過將待測量物體與平整度標準接觸、將光照射到接觸區域并測量從兩者之間的間隙泄漏的光來評估平整度。

3. 激光測量

作為平整度測量設備出售的大多數產品都使用激光。這些設備通過將激光束照射到物體上并測量反射來測量平整度。

它的優點是不損傷表面，并且瞬間就能完成測量，但是它需要比其他兩種方法更昂貴的測量設備。